Xunlight二代薄膜硅太陽能電池生產設備獲美專利
來源：網絡來源 日期：2012-6-1 作者：全球電池網 點擊：
近日，柔性薄膜組件和設備生產商Xunlight研制的第二代卷對卷薄膜硅太陽能電池生產設備獲得美國專利。該公司的工具套件將四個卷對卷流程融合到一個單一的真空機器中，即底層清潔、后反射器沉積、PECVD薄膜硅沉積以及ITO濺射沉積。
名為“隔離室以及使用隔離室生產太陽能電池材料的方法”的該專利于5月8日由USPTO頒發，從而使該公司得以進一步挖掘其專有技術。
該工具是一種在36英寸寬、8000英尺長的5mm厚不銹鋼底層上生產低成本柔性多結薄膜硅太陽能電池的單一機器。
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